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【特長】
●非接触の三次元表面粗さ・形状測定機です。
●三次元表面性状を非接触で測定することができます。
●白色干渉方式のため形状の角度に強いです。
●接触式と比較して、短時間での測定が可能です。
●独自のピーク検出アルゴリズム(DEAP)により、安定したデータが得られます。
●本体、除振台、架台が一体となった機種をご用意しています。(Opt-Scope S)
●電動ステージの搭載が可能なレボルバ機能搭載機をご用意しています。(Opt-Scope R)

【仕様】
●X軸(mm):1.7
●Y軸(mm):1.7
●Z軸(mm):20
●測定範囲X軸(mm):1.7
●測定範囲Y軸(mm):1.7
●走査範囲Z軸(mm):20
●輪郭機能:
●電源:AC100/110V
●指示精度(Z方向・輪郭):0.8±|2H/100|μm
●分解能(Z方向・粗さ):0.1 nm
●粗さ機能:有り
●輪郭機能:有り

【質量】
168KG

【入数】
1台

【セット内容】
●データ処理装置、三次元粗さ解析ソフト(サーフコムマップオプト)

【メーカー名】
(株)東京精密

【生産国】
日本
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